машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем:

1. XVI — Машины, оборудование и механизмы; электротехническое оборудование; их части; звукозаписывающая и звуковоспроизводящая аппаратура, аппаратура для записи и воспроизведения телевизионного изображения и звука, их части и принадлежности (84-85)1
2. 84 — Реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части2
3. 8486 — Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности:3
4. 848620 — машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем:4

Для ветви учитываются все вложенные коды. Один документ считается один раз, даже если в нём указано несколько подходящих кодов.